光學精度：2um

打印層厚：5～20um

打印樣品尺寸

模式 1：單投影模式-3.84 mm(L)x2.16 mm(w)x10 mm(H)

模式 2：拼接模式-38.4 mm(L)x21.6 mm(W)x10 mm(H)

模式 3：重復陣列模式-50 mm(L)x50 mm(w)x10 mm(H)

1.分辨率：

? ?4.0 nm(二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式)

? ?15.0 nm(二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式)

? ?5.0 nm(背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式)

2.加速電壓：0.3 kV～20 kV

3.倍率：×6～×300,000(照片倍率)

? ? ? ? ? ? ×16～×800,000(顯示器顯示倍率)

4.低真空設置：6～100 Pa

5.電子槍：預對中鎢燈絲電子槍

6.樣品臺：3軸馬達驅動樣品臺

? ? ? ? X:0～50 mm、Y:0~40 mm、Z:5～15 mm

? ? ? ? T:-15～90°、R:360°

7.最大可觀察范圍：直徑64mm(R聯用)*4

規鏡(寬度 x長度 x高度)：235x560x560 mm；

重量：Axio Vert.A1: 10.5 kg Axio Vert.A1 FL: 11.7 kg Axio Vert.A1 FL-LED: 12.3 kg；

目鏡：放大倍數:10x;視場數23;直徑:30mm；

物鏡：5位物鏡轉盤(包含在主機內)，2xH，3xDIC放大倍數:1.25x-100x,物鏡類型:A-Plan,LD A-Plan,LD Plan-NEOFLUAR等；

透射光照明：功率:37 W，電壓連續可調:1.5~12V；

放大倍率?：40-1000倍；

?光學系統?：UIS2無限遠光學系統；

目鏡?：10×寬視野目鏡，視場數為22或26.5；

調焦載物臺?：垂直運動范圍25mm，配有粗調限位器和高靈敏度微調對焦旋鈕（最小調節步長為1微米）；

聚光鏡?：通用聚光鏡 NA 0.9/WD 1.5毫米，1.25X-100X [搖擺：1.25X-4X，帶浸油頂透鏡：（NA 1.4/WD 0.63毫米）]；

?照明系統?：內置透射光科勒照明器，使用12V 100W鹵素燈泡，具有光強預設開關和LED顯示器，內置濾光片；

外型尺寸：2.0×1.2×0.8?

凈重：426KG

精度等級：一級

自然頻率：8HZ?

振幅：0.005?

板層采用薄形空心夾板形式，平整度：±0.5mm/m，板層的制冷采用間接方式；

平衡時溫差：≤2℃；

隔板面積(m2)：1.08；

隔板數量：4+1；

隔板尺寸(mm)：450-600；

裝瓶量(φ22)：2100；

功率（KW）：9；

冷阱

-容量：4 kg 最大

-性能：4kg/24h最大

-溫度：約-55℃

-腔體積：約6.5L

在自動除霜工藝中冷阱的溫度:約 60℃

隔板可能的溫度(A工藝)-在冷阱腔內凍干：-25℃到+60℃

隔板可能的溫度(B工藝)-在冷阱腔外干燥：室溫到+60℃

隔板最大的表面積(A工藝)-在冷阱腔內干燥：1個隔板，直徑200mm面積：0.031m2

隔板最大的表面積(B工藝)-在冷阱腔外干燥：10個隔板，直徑200 mm，面積：0.31M2

冷阱腔外在真空或氮氣下密封的注射小瓶中干燥：6個隔板，直徑200 mm，面積：0.186 M2

在圓底燒瓶中干燥：12瓶或24瓶

波長范圍?：175nm～3300nm?

?光譜帶寬?：0.025nm?

?波長準確度?：紫外可見區域的波長精度為0.025nm，近紅外區域的波長精度為0.02nm?。

檢測器?：使用無格柵光電倍增管（PMT）和Peltier冷卻PbS檢測器，確保在整個光譜范圍內獲得優異的測試性能?。

流速范圍?：200–10,000 μL/min?；

?流速準確度?：0.1% at 1 mL/min?；

?流速精度?：<0.1% RSD at 1 mL/min?；

?壓力范圍?：0.1–50 MPa (7250 psi)?；

?梯度延遲體積?：690 μL, 360 μL?；

?檢測范圍?：190-900 nm?；

?數據采集頻率?：最高可達100 Hz?；

?噪音水平?：<± 2.5 μAU at 254 nm?；

?漂移?：<0.1 mAU/h?；

焊接面積：φ300

功率/頻率：8000w/15Khz

電源：380v

行程：100mm

驅動方式：氣動

控制方式：單片機